募捐 9月15日2024 – 10月1日2024
关于筹款
书籍搜索
书
募捐:
53.7% 达到
登录
登录
访问更多功能
个人推荐
Telegram自动程序
下载历史
发送到电子邮件或 Kindle
管理书单
保存到收藏夹
个人的
书籍请求
探索
Z-Recommend
书单
最受欢迎
种类
贡献
捐款
上载
Litera Library
捐赠纸质书籍
添加纸质书籍
Search paper books
我的 LITERA Point
搜索关键词
Main
搜索关键词
search
1
Микролитография
Моро У.
рис
резиста
мкм
patent
травления
резистов
technol
sci
резист
пленки
soc
пмма
резисты
экспонирования
травление
vac
electrochem
изображения
дхн
appl
поверхности
проявления
abstr
табл
скорость
phys
литографии
резисте
линии
ния
слой
таблица
толщины
по
solid
слоя
si02
плазме
удаления
кремния
iвм
пленок
излучения
пластин
обработки
скорости
процесса
реакции
размеров
энергии
语言:
russian
文件:
ZIP, 82.44 MB
您的标签:
0
/
0
russian
2
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Радио и связь
Дж.Р.Брюэр
,
Д.С.Гринич
,
Д.Р.Херриот
,
Р.К.Хендерсон
,
Дж.П.Балантайн
,
Ж.Тротель
,
Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова.
рис
луча
резиста
мкм
электронов
электронно
элементов
экспонирования
рисунка
совмещения
энергии
системы
линий
шаблонов
разрешающей
приборов
литографии
линии
помощью
сканирования
отклонения
шаблона
луч
подложки
пластины
sci
поля
установки
изготовления
размеров
слоя
способность
облучения
плотности
излучения
тока
technol
высокой
электронного
подложке
формирования
electron
рассеяния
элу
изображения
лучевой
способностью
число
проявления
резист
年:
1984
语言:
russian
文件:
DJVU, 5.20 MB
您的标签:
0
/
0
russian, 1984
3
Литография высокого разрешения в технологии полупроводников
Барбарош С.С.
экспонирования
резиста
мкм
рис
совмещения
изображения
излучения
электронов
близости
печати
линии
литографии
энергии
мпф
шаблона
png
луча
элементов
резистов
пластины
размера
зазором
интенсивности
объектива
подложки
пучка
разрешение
см2
совмещение
системы
волны
дозы
источника
кэв
области
рисунка
производительность
размеров
резист
резисте
ширины
экспонировании
высокой
зависит
формы
шаблоном
эффект
использование
размер
разрешения
语言:
russian
文件:
DOC, 354 KB
您的标签:
0
/
0
russian
1
按照
此链接
或在 Telegram 上找到“@BotFather”机器人
2
发送 /newbot 命令
3
为您的聊天机器人指定一个名称
4
为机器人选择一个用户名
5
从 BotFather 复制完整的最后一条消息并将其粘贴到此处
×
×