Лазерные микро - и нанотехнологии в микроэлектронике

Опорный конспект лекций. - Санкт-Петербург, НИУ ИТМО, 2011. – 141 с.
Опорный конспект лекций для бакалавров и магистров направлений 200500 "Лазерная техника и лазерные технологии", 200200 "Оптотехника", 223200 "Техническая физика", 200700 "Фотоника и оптоинформатика", 200100 "Приборостроение", а также для студентов специальностей 200201 "Лазерная техника и лазерные технологии", 210401 "Физика и техника оптической связи". Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые интересуются применением лазерных технологий в микроэлектронике, для понимания преимуществ и ограничений использования лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.Основные области применения лазерных технологий в базовых процессах микроэлектроники
лазерная литография
лазерная настройка
лазерный отжиг
импульсное лазерное нанесение пленок
лазерная очистка поверхности
Лазерная обработка тонких пленок (ЛОТП)
1 Общая концепция ЛОТП
2 Средства и методы ЛОТП
Лазеры для ЛОТП
Оптические схемы для ЛОТП
Физические процессы формирования топологии тонких пленок (ТП)
3 Точность и качество ЛОТП
Термические искажения изображений на ТП
Термохимические искажения изображений
Термомеханические процессы в пленках и подложках
Гидродинамические искажения
Газодинамические искажения
Оптические искажения
4 Основные применения ЛОТП
Технология фотошаблонов
Лазерный синтез дифракционных оптических элементов, CD–дисков
Изготовление оптических шкал, сеток и кодовых масок
Применение лазерного локального переноса пленок
Возможности улучшения процесса лазерной подгонки
5 Перспективы ЛОТП
Оптимизация процессов лазерной обработки:
Возможности улучшения лазерной подгонки
Развитие методов локального лазерного переноса пленок (LIFT)
Объединение активации химических процессов с их локализацией
Преодоление дифракционного предела в ЛОТП